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扫描电镜对样品的要求

样品制备方法

　1、块样

　对于金属、岩矿或无机物，切割成要求的尺寸，粘在样品台上。如果样品数量多，注意样品尺寸一致。

　微区成份分析样品表面应该平台或经研磨抛光，可以保证检测时几何条件不变。对于样品的断口面，要选择起伏不大的部位，是分析点附近有小的平坦区。样品表面和底面应该平行。

　非导电或导电性较差的材料，要***行镀膜处理，在材料表面形成一层导电膜。以避免电荷积累，影响图像质量，并可防止试样的热损伤。

　2、粉样

　（1）微米级粉料：将粉样撒在样品台的双面胶上，扫描电镜测试中心，用手指轻弹样品台四周，粉料会均匀地向四周移动，铺平一层，侧置样品台，把多余粉料抖掉；用纸边轻刮、轻压粉料面，使粉料与胶面贴实；用耳球从不同方向吹拂粉料。经此过程，粉料已牢固、均匀地粘在双面胶上。

　（2）对于亚微米级或纳米粉料进行成分分析：利用压片机压成结实的薄片。把薄片用双面胶粘在样品台上 。

扫描电镜的类型各式各样，不同类型的扫描电镜可能会存在性能上的差异。按照电子种类可以分成三种，种是场发射电子，第二种是钨丝，第三种是六硼化镧。此中，场发射扫描电镜按照光源性能可以分成冷场发射扫描电子显微镜以及热场发射扫描电镜。冷场发射扫描电子显微镜对真空条件要求十分高，束流不稳固，发射体使用寿命比较短，需要固定时间对针尖进行清洁，只局限于单一的图像观察，西双版纳扫描电镜测试，使用范围有限；而且热场发射扫描电子显微镜不单单连续工作时间长，还可以和多种附件搭配实现综合分析。在地质领域当中，我们不仅需要对样品进行初步形貌观察，还需要结合分析仪对样品的其它性质进行分析，因此热场发射扫描电镜的使用更加广泛。

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