西双版纳电镜测试-天津市9d实验室-电镜测试中心

简述什么是扫描电子显微镜

扫描电子显微镜（SEM）其实就是一种介于光学显微镜与透射电子显微镜之间的一种观察手法。它运用聚焦的极窄的高能电子束来扫描样品，经过物资和光束间的互相作用，来激起种种物理信息，对这些信息、缩小、再成像是为了达到对物资微观形貌表征的目的。新款的扫描电子显微镜的分辨率能够达到一纳米；缩小倍数能够达到三十万倍及以上不间断进行调节；而且视线大，景深大，成像立体效果佳。除此之外，扫描电子显微镜以及其余分析仪器相互结合，能够做到观察微观形貌的同一时间进行物质微区成份分析。扫描电子显微镜在石墨、岩土、纳米材料以及陶瓷等的研发上有普遍使用。所以扫描电子显微镜在科学研究行业拥有极大的功用。

扫描电子显微镜的特征

改善图象反差的宽容度，西双版纳电镜测试，还有图象各部分亮暗适当。选择双放大倍数设备以及图象选择器，能够在荧光屏上同时观察放大倍数不同的图象。

　其次，他能够进行综合分析。装上波长色散X射线谱仪（WDX）或者能量色散X射线谱仪（EDX），让拥有电子探针的功能，还可以测试样品发出的反射电子、X射线、阴极荧光、透射电子以及俄歇电子等。将扫描电子显微镜扩大应用到各种显微的以微区的分析方式，显示出了扫描电子显微镜的多功能。除此之外，还能够在观察形貌图象的同时，对样品任选微区进行分析；装上半导体试样座附件，通过电动势象放大器能够直接观察晶体管或者集成电路中的PN结以及微观缺陷。因为不少扫描电子显微镜电子探针实现了电子计算机自动以及半自动操控，因此很大程度提升了定量分析的速度。

高分辨率台式扫描电镜是一种大型精密仪器

高分辨率台式扫描电镜由三大部分组成：真空系统，电子束系统以及成像系统，是一种大型精密仪器，电镜测试费用，它是机械学、光学、电子学、热学、材料学、真空技术等多门学科的综合应用。

　真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器，真空泵用来在真空柱内产生真空，有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类，机械泵加油扩散泵的组合可以满足真空要求，需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成像系统和电子束系统均内置在真空柱中，真空柱底端即为右图所示的密封室，电镜测试中心，用于放置样品。

　之所以要用真空，主要基于以下两点原因：电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效，所以除了在使用SEM时需要用真空以外，平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。为了增大电子的平均自由程，从而使得用于成像的电子更多。热发射电子需要电磁透镜来成束，所以在用热发射电子的SEM上，电磁透镜*。