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全自动扫描电镜位于焦平面上下的一小层区域内的样品点都可以得到良好的会焦而成象,这一小层的厚度称为场深,通常为几纳米厚,所以可以用于纳米级样品的三维成像,工作距离指从物镜到样品高点的垂直距 离,如果增加工作距离,可以在其他条件不变的情况下获得更大的场深,如果减少工作距离,则可以在其他条件不变的情况下获得更高的分辨率。全自动扫描电镜电子和背散射电子可以用于成象,但后者不如前者,所 以通常使用次级电子。
由于电子束只能穿透样品表面很浅的一层,所以只能用于表面分析。表面分析以特征X射线分析常用,所用到的探测器有两种:能谱分析仪与波谱分析仪,前者速度快但精度不高,后者非常,可以检测到“痕 迹元素”的存在但耗时太长。全自动扫描电镜的组成结构,了解其组成结构有利于我们更加合理的使用扫描电镜,从而延长扫描电镜的使用寿命及提高操作

扫描电镜和透射电镜的区别
扫描电镜和透射电镜的工作原理
从相似点开始, 这两种设备都使用电子来获取样品的图像。他们的主要组成部分是相同的;
· 电子源;
· 电磁和静电透镜控制电子束的形状和轨迹;
现在转向这两种设备的差异性。 扫描电镜(SEM)使用一组特定的线圈以光栅样式扫描样品并收集散射的电子( 详细了解SEM中检测到的不同类型的电子 )。
而透射电镜(TEM)是使用透射电子,收集透过样品的电子。 因此,天津不导电样品电镜分析,透射电镜(TEM)提供了样品的内部结构,如晶体结构,形态和应力状态信息,而扫描电镜(SEM)则提供了样品表面及其组成的信息。

扫描电镜和透射电镜设备的不同点:
高分辨率台式扫描电镜使用—组特定的线圈以光栅样式扫描样品并收集散射的电子。
透射电镜是使用透射电子,收集透过样品的电子。因此,透射电镜提供了样品的内部结构,如晶体结构,形态和应力状态信息,而扫描电镜则提供了样品表面及其组成的信息。
而且,这两种设备的差别之一是它们可以达到的空间分辨率;扫描电镜的分辨率被限制在~0.5nm,而随着近在球差校正透射电镜中的发展,已经报道了其空间分辨率甚至小于50pm。

