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扫描电子显微镜的特征
改善图象反差的宽容度,还有图象各部分亮暗适当。选择双放大倍数设备以及图象选择器,能够在荧光屏上同时观察放大倍数不同的图象。
其次,他能够进行综合分析。装上波长色散X射线谱仪(WDX)或者能量色散X射线谱仪(EDX),让拥有电子探针的功能,还可以测试样品发出的反射电子、X射线、阴极荧光、透射电子以及俄歇电子等。将扫描电子显微镜扩大应用到各种显微的以微区的分析方式,显示出了扫描电子显微镜的多功能。除此之外,还能够在观察形貌图象的同时,对样品任选微区进行分析;装上半导体试样座附件,通过电动势象放大器能够直接观察晶体管或者集成电路中的PN结以及微观缺陷。因为不少扫描电子显微镜电子探针实现了电子计算机自动以及半自动操控,因此很大程度提升了定量分析的速度。

扫描电镜之电子探针的试样要求
具有较好的电导和热导性能
金属材料一般都有较好的导电和导热性能,而硅酸盐材料和其它非金属材料一般电导和热导都较差。后者在入射电子的轰击下将产生电荷积累,造成电子束不稳定,图像模糊,并经常放电使分析和图像观察无法进行。试样导热性差还会造成电子束轰击点的温度显著升高,往往使试样中某些低熔点组份挥发而影响定量分析准确度度。
电子束轰击试样时,只有0.5%左右的能量转变成X 射线, 其余能量大部份转换成热能,热能使试样轰击点温度升高,Castaing用如下公式表示温升△T(K):
式中V。(kV)为加速电压,i(μA)为探针电流,d(μm)为电子束直径,k 为材料热导率(Wcm-1k-1)。例如,对于典型金属(k=1 时),当V。=20kV,d=1μm,i=1μA 时,△T=96K。 对于热导差的典型晶体,k=0.1,典型的有机化合物k=0.002。对于热导差的材料,如K=0.01, V0=30kV, i=0.1μA, d=1μm时, 由公式得ΔT=1440K。如果试样表面镀上10nm的铝膜,则ΔT减少到760K。因此,天津不导电样品电镜测试, 对于硅酸盐等非金属材料必须在表面均匀喷镀一层20nm左右的碳膜、铝膜或金膜等来增加试样表面的导电和导热性能。

高分辨率台式扫描电镜易于掌握
高分辨率台式扫描电镜打破了传统台式扫描电镜采用BSD探测器成像的局限性,利用创新的双聚光镜成像技术,采用大型扫描电镜成像方式,使用二次电子探测器作为基础成像单元,从而,可以获得更高的分辨率,是真正意义上的高分辨率台式扫描电镜。
高分辨率台式扫描电镜具备与大型扫描电镜同等的分辨率。该设备实现了大电镜的小型化处理,放大倍率高达10万倍;装载易于使用的可变光阑,可达到5nm图像分辨率,是高分辨率台式扫描电镜中分辨率高的设备;作为一款5轴载台,能同时运用鼠标控制与快捷键移动样品进行分析;可通过多种扫描模式与测试工具获得多种分析结果,广泛应用于材料科学、生命科学、教育、鉴定、工业、电子、环境、能源等领域。

