三维重构机构-肇庆三维重构-9d实验室样品测试

台式扫描电镜的性能与基本结构

台式扫描电镜的特点：

　制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大、保真度高、有真实的三维效应等，对于导电材料，能够直接放入样品室进行分析，对于导电性差或者绝缘的样品那么就需要喷镀导电层。

　台式扫描电镜的基本结构：

　从结构上来看，台式扫描电镜主要是由七大系统组合而成的，也就是电子光学系统、信号探测处理与显示系统、图像记录系统、样品室、真空系统、冷却循环水系统以及电源供给系统。

　此中重要的三个系统是电子光学系统、信号探测处理还有显示系统以及真空系统

全自动扫描电镜位于焦平面上下的一小层区域内的样品点都可以得到良好的会焦而成象，这一小层的厚度称为场深，通常为几纳米厚，所以可以用于纳米级样品的三维成像，工作距离指从物镜到样品高点的垂直距 离，如果增加工作距离，可以在其他条件不变的情况下获得更大的场深，如果减少工作距离，则可以在其他条件不变的情况下获得更高的分辨率。全自动扫描电镜电子和背散射电子可以用于成象，但后者不如前者，所 以通常使用次级电子。

由于电子束只能穿透样品表面很浅的一层，所以只能用于表面分析。表面分析以特征X射线分析常用，所用到的探测器有两种：能谱分析仪与波谱分析仪，前者速度快但精度不高，后者非常，可以检测到“痕 迹元素”的存在但耗时太长。全自动扫描电镜的组成结构，了解其组成结构有利于我们更加合理的使用扫描电镜，从而延长扫描电镜的使用寿命及提高操作

扫描电镜之电子探针显微分析

显微结构分析

电子探针是利用0.5μm－1μm的高能电子束激发所分析的试样，肇庆三维重构，通过电子与试样的相互作用产生的特征X 射线、二次电子、吸收电子、 背散射电子及阴极荧光等信息来分析试样的微区内(μm范围内)成份、形貌和化学结合状态等特征。电子探针成分分析的空间分辨率（微区成分分析所能分析的区域）是几个立方μm范围， 微区分析是它的一个重要特点之一， 它能将微区化学成份与显微结构对应起来，是一种显微结构的分析。而一般化学分析、 荧光分析及光谱分析等，三维重构哪家好，是分析试样较大范围内的平均化学组成，也无法与显微结构相对应， 不能对材料显微结构与材料性能关系进行研究。