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高分辨率台式扫描电镜是一种大型精密仪器

高分辨率台式扫描电镜由三大部分组成：真空系统，电子束系统以及成像系统，是一种大型精密仪器，它是机械学、光学、电子学、热学、材料学、真空技术等多门学科的综合应用。

　真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器，真空泵用来在真空柱内产生真空，有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类，曲靖普通透射电镜测试，机械泵加油扩散泵的组合可以满足真空要求，需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成像系统和电子束系统均内置在真空柱中，真空柱底端即为右图所示的密封室，用于放置样品。

　之所以要用真空，主要基于以下两点原因：电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效，所以除了在使用SEM时需要用真空以外，平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。为了增大电子的平均自由程，从而使得用于成像的电子更多。热发射电子需要电磁透镜来成束，所以在用热发射电子的SEM上，电磁透镜*。

扫描电镜的相关应用

一点，在大视场、低放大倍数下观察样品，用扫描电镜观察试样的视场大：大视场、低倍数观察样品的形貌对有些领域是非常有必要的，普通透射电镜测试中心，比方说在侦察以及考古方面。

其次第二点，进行从高倍到低倍的连续观察：扫描电镜的放大倍数范围很宽（从五到二十万倍连续可调），普通透射电镜测试机构，并且一次聚焦好后便可以从高倍到低倍、从低倍到高倍连续观察，不用重新聚焦，这对进行分析十分便利。

第三点，普通透射电镜测试价格，观察生物试样：因为电子照射面发生试样的损伤与污染程度很小，这一点对观察一些生物试样尤为重要。

第四点，进行动态观察：假如在样品室内装有加热、冷却、弯曲、拉伸与离子刻蚀等附件，那么就能够观察相变、断烈等动态的变化过程。

第五点，从试样表面形貌获得多方面资料由于扫描电子象不是同时记录的，它是分解为近百万个逐次依此记录构成的。让扫描电镜除了观察表面形貌外还能进行成分以及元素的分析，还有通过电子通道花样进行结晶学分析，选区尺寸可以从10μm到3μm。

扫描电镜的类型各式各样，不同类型的扫描电镜可能会存在性能上的差异。按照电子种类可以分成三种，种是场发射电子，第二种是钨丝，第三种是六硼化镧。此中，场发射扫描电镜按照光源性能可以分成冷场发射扫描电子显微镜以及热场发射扫描电镜。冷场发射扫描电子显微镜对真空条件要求十分高，束流不稳固，发射体使用寿命比较短，需要固定时间对针尖进行清洁，只局限于单一的图像观察，使用范围有限；而且热场发射扫描电子显微镜不单单连续工作时间长，还可以和多种附件搭配实现综合分析。在地质领域当中，我们不仅需要对样品进行初步形貌观察，还需要结合分析仪对样品的其它性质进行分析，因此热场发射扫描电镜的使用更加广泛。