9d实验室电镜测试-高分辨透射电镜测试中心

高分辨率台式扫描电镜是一种大型精密仪器

高分辨率台式扫描电镜由三大部分组成：真空系统，电子束系统以及成像系统，是一种大型精密仪器，高分辨透射电镜测试费用，它是机械学、光学、电子学、热学、材料学、真空技术等多门学科的综合应用。

　真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器，真空泵用来在真空柱内产生真空，有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类，机械泵加油扩散泵的组合可以满足真空要求，需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成像系统和电子束系统均内置在真空柱中，真空柱底端即为右图所示的密封室，用于放置样品。

　之所以要用真空，主要基于以下两点原因：电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效，所以除了在使用SEM时需要用真空以外，平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。为了增大电子的平均自由程，从而使得用于成像的电子更多。热发射电子需要电磁透镜来成束，所以在用热发射电子的SEM上，电磁透镜*。

全自动扫描电镜对样品的要求

1、样品要尽可能干燥，含有水分或其他易挥发物的试样应先烘干除去；若样品中含有水份，水分挥发会造成仓内真空度急剧下降，导致图像漂移，高分辨透射电镜测试机构，有白色条纹，甚至会影响灯丝寿命；

　2、热稳定性好，热稳定性差的样品往往在电子束的轰击下分解，释放气体和其他物质，污染电镜；

　3、导电性好，导电性差的样品会发生荷电效应，造成图像畸变，亮点亮线，像散等；

　4、不含强磁性，强磁性的样品观察一般会出现严重的像散，无法消去，磁性粉末如果粘的不牢固还可能会吸附到探头上，广州高分辨透射电镜测试，损害电镜；

　5、试样(表面)导电的固体，试样可以是块状或粉未状。不导电的试样，要***行镀膜处理，在材料表面形成一层导电膜；

金相显微镜与扫描电子显微镜的区别

一点，屏幕分辨率：金相显微镜因为光的干涉和透射功效，屏幕分辨率仅有限于0.2-0.5um中间。扫描电子显微镜因为采用离子束做为光源，它的屏幕分辨率可以做到1-3nm中间，因为金相显微镜的机构观查归属于μm级剖析，扫描电子显微镜的机构观察归属于纳米剖析。

　其次第二点，景深：通常金相显微镜的景深在2-3um中间，因为对试品的表面光洁水平具有十分高的规定，所以制样全过程相对性十分繁杂。扫描电子显微镜的景深则能够达到好多个。

　金相显微镜（metallurgical microscope）是用出射照明灯具来观察金属材料试件表面（合金成分）的光学显微镜，它是把显微镜技术性、光电转换技术性、电子计算机图象处理技术性地融合在一起从而开发设计研发成的新科技产品，可以在电子计算机上很便捷地观查金相分析图象，进而对金相分析图普开展剖析，定级等还有对图片开展輸出以及复印。