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扫描电镜的特点
1.束流稳定,可与电子探针媲
扫描电镜配有自动法拉第笼。它安装在扫描电镜的镜筒内,由气动控制其进出,用以直接测量电子束流。镜筒内还含有闭环反馈控制系统,三维重构哪家好,以便对电子束流进行控制。其电子束流的稳定度优于0.2%/h,已达到电子探针的水平。此外,束流稳定,非常有利于能谱分析,临沧三维重构,特别是波谱仪的分析工作(如果将来购买的话)。
2.扫描电镜:-----五种观察模式的电子光学系统
扫描电镜采用***的电子光学系统,在电子束对中、消像散、调焦等方面均处于业内地位。扫描电镜的每个镜筒均独立供电所以可提供五种观察模式:分辨率模式、大景深模式、广角模式、分析模式,三维重构机构,鱼眼模式。
高分辨率台式扫描电镜易于掌握
高分辨率台式扫描电镜是电镜系列中***的产品,第五代放大倍数提升为150,000 倍,分辨率优于8nm,三维重构中心,30 秒快速得到表面细节丰富的高质量图像,是目前世界上分辨率高的台式扫描电镜,可用于测量亚微米或纳米尺度的样品,继承了电镜系列高分辨率、15秒快速抽真空、不喷金观看绝缘体、全自动操作、2-3年更换灯丝及防震设计等优点。
高分辨率台式扫描电镜更加简单易用的导航模式,更加快速的操作模式;同时刻进行二次电子像和背散射电子像收集;更加***的低真空模式;全新升级的分析软件,舒适通用;从1kV-30kV同标准电镜相同的全加速电压量程;能进行生物样品和材料样品的自动设置,提高和扩大了实验室内的光学显微镜或扫描电子显微镜仪器的分辨率和景深。高分辨率台式扫描电镜预先设定方案的自动和手动控制,高真空和低真空模式,对导体和非导体样品无需进行如涂层和干燥等特殊的样品处理准备。
需要熟悉的扫描电镜基本操作
基本操作包括熟练的调节对焦和消像散。对焦相对容易,改变焦距,直至图像清楚的时刻即为合焦。在偏离焦距较多的时候可以用较高的灵敏度,在合焦点附近调低灵敏度,以便进行准确对焦。
基本操作中消像散相对来说比较麻烦,特别是像散很大时,对于很多初学者来说调节比较困难。不过前面已经介绍了像散的产生,电子束由于不再是圆形,所以在像散未消除的情况下,图像是不清晰的。不过其中有两个特殊的位置,即光学中的子午和弧矢,在这两个位置上束斑完全成正交的直线。而明晰圆一般在弧矢和子午的中间。
有关拉伸方向的判断并不困难,试样中的各种特征点都可以作为判断依据,尤其在像散比较大时,不要焦距和像散的两个维度乱调一气,以免像散过大而完全无从判断。