天津不导电样品电镜分析-9d实验室电镜测试

高分辨率台式扫描电镜是一种大型精密仪器

高分辨率台式扫描电镜由三大部分组成：真空系统，电子束系统以及成像系统，是一种大型精密仪器，它是机械学、光学、电子学、热学、材料学、真空技术等多门学科的综合应用。

　真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器，真空泵用来在真空柱内产生真空，有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类，机械泵加油扩散泵的组合可以满足真空要求，需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成像系统和电子束系统均内置在真空柱中，真空柱底端即为右图所示的密封室，用于放置样品。

　之所以要用真空，主要基于以下两点原因：电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效，所以除了在使用SEM时需要用真空以外，平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。为了增大电子的平均自由程，从而使得用于成像的电子更多。热发射电子需要电磁透镜来成束，所以在用热发射电子的SEM上，电磁透镜*。

扫描电镜的特点

1.束流稳定，可与电子探针媲

扫描电镜配有自动法拉第笼。它安装在扫描电镜的镜筒内，由气动控制其进出，用以直接测量电子束流。镜筒内还含有闭环反馈控制系统，天津不导电样品电镜分析，以便对电子束流进行控制。其电子束流的稳定度优于0.2%/h，已达到电子探针的水平。此外，束流稳定，非常有利于能谱分析，特别是波谱仪的分析工作(如果将来购买的话)。

2.扫描电镜：-----五种观察模式的电子光学系统

扫描电镜采用***的电子光学系统，在电子束对中、消像散、调焦等方面均处于业内地位。扫描电镜的每个镜筒均独立供电所以可提供五种观察模式：分辨率模式、大景深模式、广角模式、分析模式，鱼眼模式。

扫描电子显微镜的基本结构：

　扫描电子显微镜是运用材料表面微区的特征（如形貌、原子序数、化学成分或者晶体结构等）的差异，在电子束作用下通过试样不同区域产生不同的亮度差异，从而获得具有一定衬度的图像。成像信号是二次电子、背散射电子或者吸收电子，此中二次电子是主要的成像信号。高能电子束轰击样品表面，激发出样品表面的各种物理信号，再利用不同的接受物理信号转换成图像信息。

　扫描电子显微镜除了可以测试二次电子图像之外，还可以测试背散射电子、透射电子、特征x射线以及阴极发光等信号图像。它的成像原理和二次电子像一样。在进行扫描电子显微镜观察之前，要对样品作相应的处理。