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扫描电子显微镜的原理
扫描电子显微镜(SEM)是介于透射电镜还有光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段,能够直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。主要使用于各种材料的微观分析还有成分分析,已经成为材料科学、生命科学以及各生产部门品质控制中不可或缺的工具之一。
扫描电子显微镜的结构包含电子光学系统、图像显示与记录系统、真空系统还有X射线能谱分析系统。
扫描电子显微镜的结构
为透射电镜是TE进行成像的,FIB电镜制样哪家好,这就要求样品的厚度一定要确保在电子束可以穿透的尺寸范围内。因此就需要通过各种较为繁杂的样品制备手段把大尺寸样品转变到透射电镜能给接受的程度。
可不可以直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像,成为科学家追求的目标。
通过努力,这种想法已成为现实——扫描电子显微镜(ScanningElectronicMicroscopy,SEM)。
扫描电子显微镜(SEM)——运用特别细的电子束在被观测样品表面上进行扫描,FIB电镜制样机构,通过分别收集电子束和样品相互作用产生的一系列电子信息,FIB电镜制样中心,通过转换、放大而成像的电子光学仪器。是探索研究三维表层构造很有帮助的工具。
台式扫描电镜符合工艺要求
台式扫描电镜基于新一代高亮度灯丝和全新的聚焦系统,分辨率轻松达到10 nm,同时具有全自动操作、15秒快速抽真空、不喷金观看绝缘体、2-3年更换灯丝等特点。传统电镜往往通过提高加速电压来产生更高的信号,同时由于穿透深度较深,导致表面细节缺失。低加速电压电子穿透深度浅,避免样品被破坏,展现更多表面细节;探测背散射电子,展现清晰形貌结构的同时,提供丰富的成份信息。
台式扫描电镜是扫描电镜能谱行业的一个里程碑,亮度10倍于钨灯丝的灯丝,不仅成为*分辨率的台式扫描电镜,菏泽FIB电镜制样,同时也使X射线能谱仪提供更加准确、快速的元素分析。台式扫描电镜的背散射图像,首先从视觉上用不同的灰度呈现不同的元素,进一步利用SDDX射线探测器,就能轻松确认不同灰度区域元素的名称和含量,提供5-95号元素的点扫描,线扫描和面扫描三种分析模式。