企业等级: | 普通会员 |
经营模式: | 生产加工 |
所在地区: | 天津 天津市 |
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描电镜和透射电镜对样品的要求
1、扫描电镜
扫描电镜制样对样品的厚度没有特殊要求,可以采用切、磨、抛光或解理等方法将特定剖面呈现出来,从而转化为可以观察的表面。这样的表面如果直接观察,看到的只有表面加工损伤,一般要利用不同的化学溶液进行择优腐蚀,才能产生有利于观察的衬度。不过腐蚀会使样品失去原结构的部分真实情况,同时引入部分人为的干扰,对样品中厚度的薄层来说,球差电镜测试价格,造成的误差更大。
2、透射电镜
由于透射电镜得到的显微图像的质量强烈依赖于样品的厚度,因此样品观测部位要非常的薄,例如存储器器件的透射电镜样品一般只能有10~100nm的厚度,这给透射电镜制样带来很大的难度。初学者在制样过程中用手工或者机械控制磨制的成品率不高,一旦过度削磨则使该样品报废。透射电镜制样的另一个问题是观测点的定位,一般的制样只能获得10mm量级的薄的观测范围,这在需要分析的时候,目标往往落在观测范围之外。目前比较理想的解决方法是通过聚焦离子束刻蚀(FIB)来进行精细加工。
扫描电子显微镜的结构:
扫描电子显微镜是由三大部分组合而成的:真空系统,球差电镜测试机构,电子束系统还有成像系统。
1.真空系统,主要包含真空泵以及真空柱这两部分。真空柱是一个密封的柱形容器,真空泵则用来在真空柱内产生真空。
2.电子束系统,电子束系统主要是由电子以及电磁透镜这两部分组合而成,主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成像。电子用于产生电子,主要有利用场致发射效应产生电子还有利用热发射效应产生电子两种。
3.成像系统,梅州球差电镜测试,电子通过一系列电磁透镜成束之后,打到样品上和样品相互作用,会产生次级电子、背散射电子、欧革电子还有X射线等一系列信号。因此需要不同的探测器比方说次级电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号为了获得所需要的信息。
扫描电子显微镜的特征
改善图象反差的宽容度,还有图象各部分亮暗适当。选择双放大倍数设备以及图象选择器,球差电镜测试哪家好,能够在荧光屏上同时观察放大倍数不同的图象。
其次,他能够进行综合分析。装上波长色散X射线谱仪(WDX)或者能量色散X射线谱仪(EDX),让拥有电子探针的功能,还可以测试样品发出的反射电子、X射线、阴极荧光、透射电子以及俄歇电子等。将扫描电子显微镜扩大应用到各种显微的以微区的分析方式,显示出了扫描电子显微镜的多功能。除此之外,还能够在观察形貌图象的同时,对样品任选微区进行分析;装上半导体试样座附件,通过电动势象放大器能够直接观察晶体管或者集成电路中的PN结以及微观缺陷。因为不少扫描电子显微镜电子探针实现了电子计算机自动以及半自动操控,因此很大程度提升了定量分析的速度。