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扫描电镜之电子探针的试样要求
具有较好的电导和热导性能
金属材料一般都有较好的导电和导热性能,而硅酸盐材料和其它非金属材料一般电导和热导都较差。后者在入射电子的轰击下将产生电荷积累,造成电子束不稳定,图像模糊,并经常放电使分析和图像观察无法进行。试样导热性差还会造成电子束轰击点的温度显著升高,往往使试样中某些低熔点组份挥发而影响定量分析准确度度。
电子束轰击试样时,只有0.5%左右的能量转变成X 射线, 其余能量大部份转换成热能,热能使试样轰击点温度升高,Castaing用如下公式表示温升△T(K):
式中V。(kV)为加速电压,天津不导电样品电镜分析,i(μA)为探针电流,d(μm)为电子束直径,k 为材料热导率(Wcm-1k-1)。例如,对于典型金属(k=1 时),当V。=20kV,d=1μm,i=1μA 时,△T=96K。 对于热导差的典型晶体,k=0.1,典型的有机化合物k=0.002。对于热导差的材料,如K=0.01, V0=30kV, i=0.1μA, d=1μm时, 由公式得ΔT=1440K。如果试样表面镀上10nm的铝膜,则ΔT减少到760K。因此, 对于硅酸盐等非金属材料必须在表面均匀喷镀一层20nm左右的碳膜、铝膜或金膜等来增加试样表面的导电和导热性能。
SEM扫描电子显微镜与透射电镜的区别
透射扫描电子显微镜是用透过样品的电子束让其成像的电子显微镜,在一个高真空系统当中,由电子发射电子束,穿过被研究的样品,通过电子透镜聚焦放大,在荧光屏上显示出高度放大的物像,经常使用于观察那些用普通显微镜所不可以分辨的细微物质结构。
扫描电子显微镜是用电子探针对样品表面扫描使其成像的电子显微镜。使用电子束在样品表面扫描激发二次电子成像的电子显微镜。主要用于研究样品表面的形貌还有成分。
透射电镜和扫描电镜区别简单的来讲就是:扫描电镜是观察样品表面的结构特征,但是透射电镜则是观察样品的内部精细结构。
全自动扫描电镜可以放大检测物体
全自动扫描电镜是一款使用高亮度CeB6灯丝的高分辨台式扫描电镜。放大倍数30,000倍,用于观察亚微米样品的微观结构。Pure具有全自动操作、15秒快速抽真空、不喷金观看绝缘体、2-3年更换灯丝等特点,适用于传统大电镜待测样品的快速筛选,也适合于光学显微镜的分辨率无法满足需求的客户。
台式场发射扫描电镜产品参数
光学显微镜:放大20-135倍
电子显微镜:200-500,000倍
探测器:背散射电子探测器;二次电子探测器;能谱探测器
电子源:肖特基场发射电子源
分辨率:优于2.5nm@15kV
放置环境:采用防震设计,可摆放于普通实验室或办公室、厂房
加速电压:2kV-15kV连续可调
全自动扫描电镜采用热场发射电子源,信噪比高,使用寿命长,保证长期稳定的性能。台式场发射扫描电镜能谱一体机标配背散射电子成像、二次电子电子成像和能谱分析功能,可对各种样品进行高分辨成像及元素分析。