9d实验室电镜测试(图)-天津三维重构-河源三维重构

扫描电子显微镜的原理

扫描电子显微镜(SEM)是介于透射电镜还有光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，能够直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。主要使用于各种材料的微观分析还有成分分析，已经成为材料科学、生命科学以及各生产部门品质控制中不可或缺的工具之一。

　扫描电子显微镜的结构包含电子光学系统、图像显示与记录系统、真空系统还有X射线能谱分析系统。

扫描电镜之电子探针显微分析

显微结构分析

电子探针是利用0.5μm－1μm的高能电子束激发所分析的试样，通过电子与试样的相互作用产生的特征X 射线、二次电子、吸收电子、 背散射电子及阴极荧光等信息来分析试样的微区内(μm范围内)成份、形貌和化学结合状态等特征。电子探针成分分析的空间分辨率（微区成分分析所能分析的区域）是几个立方μm范围， 微区分析是它的一个重要特点之一， 它能将微区化学成份与显微结构对应起来，是一种显微结构的分析。而一般化学分析、 荧光分析及光谱分析等，是分析试样较大范围内的平均化学组成，也无法与显微结构相对应， 不能对材料显微结构与材料性能关系进行研究。

需要熟悉的扫描电镜基本操作

基本操作包括熟练的调节对焦和消像散。对焦相对容易，改变焦距，直至图像清楚的时刻即为合焦。在偏离焦距较多的时候可以用较高的灵敏度，在合焦点附近调低灵敏度，以便进行准确对焦。

基本操作中消像散相对来说比较麻烦，特别是像散很大时，河源三维重构，对于很多初学者来说调节比较困难。不过前面已经介绍了像散的产生，天津三维重构，电子束由于不再是圆形，所以在像散未消除的情况下，图像是不清晰的。不过其中有两个特殊的位置，即光学中的子午和弧矢，三维重构中心，在这两个位置上束斑完全成正交的直线。而明晰圆一般在弧矢和子午的中间。

有关拉伸方向的判断并不困难，试样中的各种特征点都可以作为判断依据，尤其在像散比较大时，不要焦距和像散的两个维度乱调一气，以免像散过大而完全无从判断。