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高分辨率台式扫描电镜是一种大型精密仪器

高分辨率台式扫描电镜由三大部分组成：真空系统，电子束系统以及成像系统，是一种大型精密仪器，它是机械学、光学、电子学、热学、材料学、真空技术等多门学科的综合应用。

　真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器，真空泵用来在真空柱内产生真空，有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类，扫描电镜分析价格，机械泵加油扩散泵的组合可以满足真空要求，需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成像系统和电子束系统均内置在真空柱中，扫描电镜分析中心，真空柱底端即为右图所示的密封室，用于放置样品。

　之所以要用真空，主要基于以下两点原因：电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效，所以除了在使用SEM时需要用真空以外，平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。为了增大电子的平均自由程，从而使得用于成像的电子更多。热发射电子需要电磁透镜来成束，扫描电镜分析机构，所以在用热发射电子的SEM上，电磁透镜*。

扫描电镜的应用首先，扫描电镜应用是不是经常性的并且需求明确的？假如是这样，台式扫描电镜可以提供所需要的信息，为什么要花费更多？对于未来需求超过台式扫描电镜性能的担忧，应该依据潜在需求的确定性以及时机，还有对更高要求使用的外部资源可用性来进行评估。 　　就算以后需求超过台式扫描电镜能力，台式扫描电镜的初始投资也能够继续提供回报，由于这种系统可以使用于补充以后的落地式扫描电镜系统，比方说筛选样品或者接着执行日常分析，落地式扫描电镜使用于要求非常高的应用。 　　建立大型分析测试中心的时候，扫描电镜能够起到承上启下的功用，前期可以满足大多数的测试需求，后面能够从外部应用者对于更性能需求以及成本进行基于经验的评估，有针对性地完善整个扫描电镜测试系统。

扫描电镜的结构

扫描电镜是针对台式电镜设计的，本着台式电镜简单易用，利用半导体制冷，无需额外冷却系统，是一款具有处理所有类型材料能力的分析仪器，可以提供成像质量，配备X射线能谱仪接口，并有X射线几何设计，文山扫描电镜分析，可对所有样品进行分析，对于非导体采用电子束衬管技术也提高了图像质量和分析精度。

　扫描电镜***的X射线几何结构以及标配能谱仪和波谱仪，可变电压功能用于分析较少制备的非接触式样品，可移动的显微镜样品台用于观察大型样品，是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。扫描电镜的结构包括电子光学系统、图像显示和记录系统、真空系统、X射线能谱分析系统。