9d实验室电镜分析(图)-三维重构机构-烟台三维重构

描电镜和透射电镜对样品的要求

　1、扫描电镜

　扫描电镜制样对样品的厚度没有特殊要求，可以采用切、磨、抛光或解理等方法将特定剖面呈现出来，天津三维重构，从而转化为可以观察的表面。这样的表面如果直接观察，三维重构中心，看到的只有表面加工损伤，一般要利用不同的化学溶液进行择优腐蚀，才能产生有利于观察的衬度。不过腐蚀会使样品失去原结构的部分真实情况，同时引入部分人为的干扰，对样品中厚度的薄层来说，造成的误差更大。

　2、透射电镜

　由于透射电镜得到的显微图像的质量强烈依赖于样品的厚度，因此样品观测部位要非常的薄，例如存储器器件的透射电镜样品一般只能有10～100nm的厚度，这给透射电镜制样带来很大的难度。初学者在制样过程中用手工或者机械控制磨制的成品率不高，一旦过度削磨则使该样品报废。透射电镜制样的另一个问题是观测点的定位，一般的制样只能获得10mm量级的薄的观测范围，这在需要分析的时候，目标往往落在观测范围之外。目前比较理想的解决方法是通过聚焦离子束刻蚀(FIB)来进行精细加工。

扫描电镜对样品的要求

样品制备方法

　1、块样

　对于金属、岩矿或无机物，切割成要求的尺寸，三维重构机构，粘在样品台上。如果样品数量多，注意样品尺寸一致。

　微区成份分析样品表面应该平台或经研磨抛光，可以保证检测时几何条件不变。对于样品的断口面，要选择起伏不大的部位，是分析点附近有小的平坦区。样品表面和底面应该平行。

　非导电或导电性较差的材料，要***行镀膜处理，在材料表面形成一层导电膜。以避免电荷积累，影响图像质量，并可防止试样的热损伤。

　2、粉样

　（1）微米级粉料：将粉样撒在样品台的双面胶上，烟台三维重构，用手指轻弹样品台四周，粉料会均匀地向四周移动，铺平一层，侧置样品台，把多余粉料抖掉；用纸边轻刮、轻压粉料面，使粉料与胶面贴实；用耳球从不同方向吹拂粉料。经此过程，粉料已牢固、均匀地粘在双面胶上。

　（2）对于亚微米级或纳米粉料进行成分分析：利用压片机压成结实的薄片。把薄片用双面胶粘在样品台上 。

高分辨率台式扫描电镜和透射电镜操作上的差异

　这两种电子显微镜系统在操作方式上也有所不同。扫描电镜通常使用15kV以上的加速电压，而透射电镜可以将其设置在60-300kV的范围内。

　与扫描电镜相比，透射电镜提供的放大倍数也相当高:透射电镜可以将样品放大5000万倍以上，而对于扫描电镜来说，限制在1-2百万倍之间。

　然而，扫描电镜可以实现的视场(FOV)远大于透射电镜，用户可以只对样品的一小部分进行成像。同样，扫描电镜系统的景深也远高于透射电镜系统。