天津不导电样品电镜分析-9d实验室样品测试

扫描电镜的特点

1.束流稳定，可与电子探针媲

扫描电镜配有自动法拉第笼。它安装在扫描电镜的镜筒内，由气动控制其进出，用以直接测量电子束流。镜筒内还含有闭环反馈控制系统，以便对电子束流进行控制。其电子束流的稳定度优于0.2%/h，已达到电子探针的水平。此外，束流稳定，非常有利于能谱分析，特别是波谱仪的分析工作(如果将来购买的话)。

2.扫描电镜：-----五种观察模式的电子光学系统

扫描电镜采用***的电子光学系统，在电子束对中、消像散、调焦等方面均处于业内地位。扫描电镜的每个镜筒均独立供电所以可提供五种观察模式：分辨率模式、大景深模式、广角模式、分析模式，鱼眼模式。

扫描电镜之电子探针的试样要求

具有较好的电导和热导性能

金属材料一般都有较好的导电和导热性能，而硅酸盐材料和其它非金属材料一般电导和热导都较差。后者在入射电子的轰击下将产生电荷积累，造成电子束不稳定，图像模糊，并经常放电使分析和图像观察无法进行。试样导热性差还会造成电子束轰击点的温度显著升高，往往使试样中某些低熔点组份挥发而影响定量分析准确度度。

电子束轰击试样时，只有0.5%左右的能量转变成X 射线， 其余能量大部份转换成热能，热能使试样轰击点温度升高，天津不导电样品电镜分析，Castaing用如下公式表示温升△T(K):

式中V。(kV)为加速电压，i(μA)为探针电流，d(μm)为电子束直径，k 为材料热导率(Wcm-1k-1)。例如，对于典型金属(k=1 时)，当V。＝20kV，d＝1μm，i＝1μA 时，△T＝96K。 对于热导差的典型晶体，k=0.1，典型的有机化合物k=0.002。对于热导差的材料，如K=0.01， V0=30kV， i=0.1μA， d=1μm时， 由公式得ΔT=1440K。如果试样表面镀上10nm的铝膜，则ΔT减少到760K。因此， 对于硅酸盐等非金属材料必须在表面均匀喷镀一层20nm左右的碳膜、铝膜或金膜等来增加试样表面的导电和导热性能。

扫描电镜可实现更多功能

扫描电镜可简化从样品观察、图像确认到生成报告等一系列操作过程，大幅提高了工作效率，还标配了报告生成功能，观察结束后可十分轻松地将拍摄的图像制作成格式的报告，此外，选配项还可实现更多功能。

扫描电镜的低真空系统使得样品不需任何处理即可快速进行观察，优化提供5kV、10kV、15kV三种不同电压下的观察模式，每种模式下电流4档可调，并配备4分割背散射探测器，可四个不同方向的图像信息，对样品进行多种模式成像。扫描电镜具有全新的导航功能，同时，电镜图片可以报告形式导出，配备大型样品仓，可容纳大样品直径80mm，厚度50mm。

扫描电镜是一台、功能强大的高分辨应用型扫描电子显微镜。系统采用多接口的大样品室和艺术级的物镜设计，提供高真空成像功能，可对各种材料表面作分析。并且具有业界的X射线分析条件，样品台为五轴全自动控制，标准的率无油涡轮分子泵满足快速的样品更换和无污染成像分析。