企业等级: | 普通会员 |
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扫描电子显微镜的应用
扫描电子显微镜广泛用于材料科学(金属材料、非金属材料、纳米材料)、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害(火灾、失效分析)鉴定、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。
显微镜在材料科学、金属材料、陶瓷材料半导体材料、化学材料等领域,进行材料的微观形貌、组织、成分分析。各种材料的形貌组织观察,材料断口分析和失效分析,材料实时微区成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面扫描和线扫描分布测量,晶体/晶粒的相鉴定,电镜测试中心,晶粒尺寸、形状分析,晶体、晶粒取向测量。
其工作原理为:在高真空的镜筒中,淄博电镜测试,由电子产生的电子束经电子会聚透镜聚焦成细束后,在样品表面逐点进行扫描轰击,产生一系列电子信息(二次电子、背反射电子、透射电子、吸收电子等),由探测器将各种电子信号接收后经电子放大器放大后输入由显像管栅极控制的显像管。
扫描电镜和透射电镜设备的不同点:
高分辨率台式扫描电镜使用—组特定的线圈以光栅样式扫描样品并收集散射的电子。
透射电镜是使用透射电子,收集透过样品的电子。因此,透射电镜提供了样品的内部结构,如晶体结构,形态和应力状态信息,而扫描电镜则提供了样品表面及其组成的信息。
而且,这两种设备的差别之一是它们可以达到的空间分辨率;扫描电镜的分辨率被限制在~0.5nm,而随着近在球差校正透射电镜中的发展,电镜测试费用,已经报道了其空间分辨率甚至小于50pm。
扫描电镜之电子探针显微分析
显微结构分析
电子探针是利用0.5μm-1μm的高能电子束激发所分析的试样,通过电子与试样的相互作用产生的特征X 射线、二次电子、吸收电子、 背散射电子及阴极荧光等信息来分析试样的微区内(μm范围内)成份、形貌和化学结合状态等特征。电子探针成分分析的空间分辨率(微区成分分析所能分析的区域)是几个立方μm范围, 微区分析是它的一个重要特点之一, 它能将微区化学成份与显微结构对应起来,是一种显微结构的分析。而一般化学分析、 荧光分析及光谱分析等,电镜测试机构,是分析试样较大范围内的平均化学组成,也无法与显微结构相对应, 不能对材料显微结构与材料性能关系进行研究。