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扫描电子显微镜的基本结构:
扫描电子显微镜是运用材料表面微区的特征(如形貌、原子序数、化学成分或者晶体结构等)的差异,在电子束作用下通过试样不同区域产生不同的亮度差异,从而获得具有一定衬度的图像。成像信号是二次电子、背散射电子或者吸收电子,此中二次电子是主要的成像信号。高能电子束轰击样品表面,激发出样品表面的各种物理信号,再利用不同的接受物理信号转换成图像信息。
扫描电子显微镜除了可以测试二次电子图像之外,还可以测试背散射电子、透射电子、特征x射线以及阴极发光等信号图像。它的成像原理和二次电子像一样。在进行扫描电子显微镜观察之前,要对样品作相应的处理。
扫描电镜之电子探针的试样要求
具有较好的电导和热导性能
金属材料一般都有较好的导电和导热性能,扫描电镜分析费用,而硅酸盐材料和其它非金属材料一般电导和热导都较差。后者在入射电子的轰击下将产生电荷积累,造成电子束不稳定,扫描电镜分析中心,图像模糊,并经常放电使分析和图像观察无法进行。试样导热性差还会造成电子束轰击点的温度显著升高,往往使试样中某些低熔点组份挥发而影响定量分析准确度度。
电子束轰击试样时,只有0.5%左右的能量转变成X 射线, 其余能量大部份转换成热能,热能使试样轰击点温度升高,Castaing用如下公式表示温升△T(K):
式中V。(kV)为加速电压,i(μA)为探针电流,d(μm)为电子束直径,k 为材料热导率(Wcm-1k-1)。例如,对于典型金属(k=1 时),当V。=20kV,d=1μm,i=1μA 时,△T=96K。 对于热导差的典型晶体,扫描电镜分析价格,k=0.1,典型的有机化合物k=0.002。对于热导差的材料,如K=0.01, V0=30kV,珠海扫描电镜分析, i=0.1μA, d=1μm时, 由公式得ΔT=1440K。如果试样表面镀上10nm的铝膜,则ΔT减少到760K。因此, 对于硅酸盐等非金属材料必须在表面均匀喷镀一层20nm左右的碳膜、铝膜或金膜等来增加试样表面的导电和导热性能。
全自动扫描电镜可以放大检测物体
全自动扫描电镜是一款使用高亮度CeB6灯丝的高分辨台式扫描电镜。放大倍数30,000倍,用于观察亚微米样品的微观结构。Pure具有全自动操作、15秒快速抽真空、不喷金观看绝缘体、2-3年更换灯丝等特点,适用于传统大电镜待测样品的快速筛选,也适合于光学显微镜的分辨率无法满足需求的客户。
台式场发射扫描电镜产品参数
光学显微镜:放大20-135倍
电子显微镜:200-500,000倍
探测器:背散射电子探测器;二次电子探测器;能谱探测器
电子源:肖特基场发射电子源
分辨率:优于2.5nm@15kV
放置环境:采用防震设计,可摆放于普通实验室或办公室、厂房
加速电压:2kV-15kV连续可调
全自动扫描电镜采用热场发射电子源,信噪比高,使用寿命长,保证长期稳定的性能。台式场发射扫描电镜能谱一体机标配背散射电子成像、二次电子电子成像和能谱分析功能,可对各种样品进行高分辨成像及元素分析。