肇庆双束扫描电镜测试-9d实验室电镜分析

需要熟悉的扫描电镜基本操作

基本操作包括熟练的调节对焦和消像散。对焦相对容易，改变焦距，直至图像清楚的时刻即为合焦。在偏离焦距较多的时候可以用较高的灵敏度，在合焦点附近调低灵敏度，以便进行准确对焦。

基本操作中消像散相对来说比较麻烦，特别是像散很大时，对于很多初学者来说调节比较困难。不过前面已经介绍了像散的产生，电子束由于不再是圆形，所以在像散未消除的情况下，图像是不清晰的。不过其中有两个特殊的位置，即光学中的子午和弧矢，在这两个位置上束斑完全成正交的直线。而明晰圆一般在弧矢和子午的中间。

有关拉伸方向的判断并不困难，试样中的各种特征点都可以作为判断依据，尤其在像散比较大时，不要焦距和像散的两个维度乱调一气，以免像散过大而完全无从判断。

扫描电子显微镜的特征

改善图象反差的宽容度，还有图象各部分亮暗适当。选择双放大倍数设备以及图象选择器，肇庆双束扫描电镜测试，能够在荧光屏上同时观察放大倍数不同的图象。

　其次，他能够进行综合分析。装上波长色散X射线谱仪（WDX）或者能量色散X射线谱仪（EDX），让拥有电子探针的功能，还可以测试样品发出的反射电子、X射线、阴极荧光、透射电子以及俄歇电子等。将扫描电子显微镜扩大应用到各种显微的以微区的分析方式，显示出了扫描电子显微镜的多功能。除此之外，还能够在观察形貌图象的同时，对样品任选微区进行分析；装上半导体试样座附件，通过电动势象放大器能够直接观察晶体管或者集成电路中的PN结以及微观缺陷。因为不少扫描电子显微镜电子探针实现了电子计算机自动以及半自动操控，因此很大程度提升了定量分析的速度。

扫描电镜之电子探针的试样要求

试样尺寸 扫描电镜

所分析的试样应为块状或颗粒状，其尺寸要根据不同仪器的试样架大小而定。定量分析的试样要均质，厚度通常应大于5μm。例如对JCXA-733 电子探针仪，试样尺寸为Φ32mm×25mm。EPMA-8705 电子探仪所允许的试样尺寸为102mm×20mm。由于电子探针是微区分析，双束扫描电镜测试价格，分析区域是几个立方微米，电子束扫描分析和图像观察区域与放大倍数有关，但也不会超过5mm。所以均匀试样没有必要做得很大，有代表性即可。

如果试样均匀，双束扫描电镜测试费用，在可能的条件下，试样应尽量小，特别对分析不导电试样时，小试样能改善导电性和导热性能。