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扫描电子显微镜的结构

为透射电镜是TE进行成像的，这就要求样品的厚度一定要确保在电子束可以穿透的尺寸范围内。因此就需要通过各种较为繁杂的样品制备手段把大尺寸样品转变到透射电镜能给接受的程度。

可不可以直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像，成为科学家追求的目标。

通过努力，这种想法已成为现实——扫描电子显微镜(ScanningElectronicMicroscopy，SEM)。

扫描电子显微镜（SEM）——运用特别细的电子束在被观测样品表面上进行扫描，通过分别收集电子束和样品相互作用产生的一系列电子信息，投射电镜分析费用，通过转换、放大而成像的电子光学仪器。是探索研究三维表层构造很有帮助的工具。

高分辨率台式扫描电镜是一种大型精密仪器

高分辨率台式扫描电镜由三大部分组成：真空系统，电子束系统以及成像系统，投射电镜分析价格，是一种大型精密仪器，它是机械学、光学、电子学、热学、材料学、真空技术等多门学科的综合应用。

　真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器，真空泵用来在真空柱内产生真空，有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类，机械泵加油扩散泵的组合可以满足真空要求，需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成像系统和电子束系统均内置在真空柱中，真空柱底端即为右图所示的密封室，用于放置样品。

　之所以要用真空，主要基于以下两点原因：电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效，所以除了在使用SEM时需要用真空以外，平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。为了增大电子的平均自由程，从而使得用于成像的电子更多。热发射电子需要电磁透镜来成束，所以在用热发射电子的SEM上，电磁透镜*。

扫描电子显微镜知识介绍

在扫描电子显微镜当中，将电子束从左到右方向的扫描运动叫做行扫描或者称之为水平扫描，将电子束从上到下方向的扫描运动称之为帧扫描或者叫做垂直扫描。两者的扫描速度完全不一样，投射电镜分析机构，行扫描的速度比帧扫描的速度快，对于一千条线的扫描图象来将，速度比为一千。

　扫描电子显微镜的工作就是进入微观世界的工作。我们通常所说的微乎其微或者微不足道的东西，在微观世界当中，这个微也就不称其微，我们提出使用纳米作为显微技术中的常用度量单位，及1nm=10-6mm。

　扫描电子显微镜成像过程和电视成像过程有很多相似的地方，怒江投射电镜分析，并且和透射电镜的成像原理完全不一样。透射电镜是利用成像电磁透镜一次成像，而扫描电镜的成像则不需要成象透镜，它的图象是按照一定时间、空间顺序逐点形成并且在镜体外显像管上显示。