三维重构费用-红河三维重构-天津市9d实验室(查看)

扫描电镜之电子探针显微分析

显微结构分析

电子探针是利用0.5μm－1μm的高能电子束激发所分析的试样，通过电子与试样的相互作用产生的特征X 射线、二次电子、吸收电子、 背散射电子及阴极荧光等信息来分析试样的微区内(μm范围内)成份、形貌和化学结合状态等特征。电子探针成分分析的空间分辨率（微区成分分析所能分析的区域）是几个立方μm范围， 微区分析是它的一个重要特点之一， 它能将微区化学成份与显微结构对应起来，是一种显微结构的分析。而一般化学分析、 荧光分析及光谱分析等，是分析试样较大范围内的平均化学组成，也无法与显微结构相对应， 不能对材料显微结构与材料性能关系进行研究。

描电镜和透射电镜对样品的要求

　1、扫描电镜

　扫描电镜制样对样品的厚度没有特殊要求，红河三维重构，可以采用切、磨、抛光或解理等方法将特定剖面呈现出来，从而转化为可以观察的表面。这样的表面如果直接观察，三维重构费用，看到的只有表面加工损伤，一般要利用不同的化学溶液进行择优腐蚀，才能产生有利于观察的衬度。不过腐蚀会使样品失去原结构的部分真实情况，同时引入部分人为的干扰，对样品中厚度的薄层来说，造成的误差更大。

　2、透射电镜

　由于透射电镜得到的显微图像的质量强烈依赖于样品的厚度，因此样品观测部位要非常的薄，例如存储器器件的透射电镜样品一般只能有10～100nm的厚度，这给透射电镜制样带来很大的难度。初学者在制样过程中用手工或者机械控制磨制的成品率不高，一旦过度削磨则使该样品报废。透射电镜制样的另一个问题是观测点的定位，一般的制样只能获得10mm量级的薄的观测范围，这在需要分析的时候，目标往往落在观测范围之外。目前比较理想的解决方法是通过聚焦离子束刻蚀(FIB)来进行精细加工。

全自动扫描电镜可以放大检测物体

全自动扫描电镜是一款使用高亮度CeB6灯丝的高分辨台式扫描电镜。放大倍数30，000倍，用于观察亚微米样品的微观结构。Pure具有全自动操作、15秒快速抽真空、不喷金观看绝缘体、2-3年更换灯丝等特点，适用于传统大电镜待测样品的快速筛选，也适合于光学显微镜的分辨率无法满足需求的客户。

　台式场发射扫描电镜产品参数

　光学显微镜：放大20-135倍

　电子显微镜：200-500，000倍

　探测器：背散射电子探测器；二次电子探测器；能谱探测器

　电子源：肖特基场发射电子源

　分辨率：优于2.5nm@15kV

　放置环境：采用防震设计，可摆放于普通实验室或办公室、厂房

　加速电压：2kV-15kV连续可调

　全自动扫描电镜采用热场发射电子源，信噪比高，三维重构中心，使用寿命长，保证长期稳定的性能。台式场发射扫描电镜能谱一体机标配背散射电子成像、二次电子电子成像和能谱分析功能，可对各种样品进行高分辨成像及元素分析。