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高分辨率台式扫描电镜是一种大型精密仪器
高分辨率台式扫描电镜由三大部分组成:真空系统,电子束系统以及成像系统,是一种大型精密仪器,它是机械学、光学、电子学、热学、材料学、真空技术等多门学科的综合应用。
真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器,真空泵用来在真空柱内产生真空,有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类,机械泵加油扩散泵的组合可以满足真空要求,需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成像系统和电子束系统均内置在真空柱中,真空柱底端即为右图所示的密封室,用于放置样品。
之所以要用真空,主要基于以下两点原因:电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效,所以除了在使用SEM时需要用真空以外,平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。为了增大电子的平均自由程,从而使得用于成像的电子更多。热发射电子需要电磁透镜来成束,所以在用热发射电子的SEM上,电磁透镜*。
扫描电镜可实现更多功能
扫描电镜可简化从样品观察、图像确认到生成报告等一系列操作过程,大幅提高了工作效率,还标配了报告生成功能,观察结束后可十分轻松地将拍摄的图像制作成格式的报告,此外,选配项还可实现更多功能。
扫描电镜的低真空系统使得样品不需任何处理即可快速进行观察,优化提供5kV、10kV、15kV三种不同电压下的观察模式,天津生物样品电镜分析,每种模式下电流4档可调,并配备4分割背散射探测器,可四个不同方向的图像信息,对样品进行多种模式成像。扫描电镜具有全新的导航功能,同时,电镜图片可以报告形式导出,配备大型样品仓,可容纳大样品直径80mm,厚度50mm。
扫描电镜是一台、功能强大的高分辨应用型扫描电子显微镜。系统采用多接口的大样品室和艺术级的物镜设计,提供高真空成像功能,可对各种材料表面作分析。并且具有业界的X射线分析条件,样品台为五轴全自动控制,标准的率无油涡轮分子泵满足快速的样品更换和无污染成像分析。
扫描电子显微镜的显示优势
扫描式电镜的电子和聚光镜与透射式电镜的大致相同,但是为了使电子束更细,在聚光镜下又增加了物镜和消像散器;在物镜内部还装有两组互相垂直的扫描线圈。物镜下面的样品室内装有可以移动、转动和倾斜的样品台。
由于扫描电子显微镜可用多种物理信号对样品进行综合分析,并具有可以直接观察较大试样、放大倍数范围宽和景深大等特点,当陶瓷材料处于不同的外部条件和化学环境时,扫描电子显微镜在其微观结构分析研究方面同样显示出极大的优势。主要表现为:
⑴力学加载下的微观动态(裂纹扩展)研究;
⑵加热条件下的晶体合成、气化、聚合反应等研究;
⑶晶体生长机理、生长台阶、缺陷与位错的研究;
⑷成分的非均匀性、壳芯结构、包裹结构的研究;