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全自动扫描电镜是工业发展的***科技
全自动扫描电镜由电子和电磁透镜两部分组成,主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成像,热发射电子需要电磁透镜来成束,扫描电镜分析费用,所以在用热发射上,电磁透镜*。
全自动扫描电镜通常会装配两组:汇聚透镜:顾名思义,汇聚透镜用汇聚电子束,扫描电镜分析机构,装配在真空柱中,位于电子之下。通常不止一个,并有一组汇聚光圈与之相配。但汇聚透镜仅仅用于汇聚电子束,与成像会焦无关 。物镜:物镜为真空柱中下方的一个电磁透镜,它负责将电子束的焦点汇聚到样品表面。
电子经过一系列电磁透镜成束后,打到样品上与样品相互作用,会产生次级电子、背散射电子以及X射线等一系列信号,所以需要不同的探测器譬如次级电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号以获得所需要 的信息,云浮扫描电镜分析,虽然X射线信号不能用于成像,但习惯上,仍然将X射线分析系统划分到成像系统中。与普通光学显微镜不同,在全自动扫描电镜中,是通过控制扫描区域的大小来控制放大率的,如果需要更高的放大率,只需 要扫描更小的一块面积就可以了。放大率由屏幕/照片面积除以扫描面积得到。
台式扫描电镜对生物智能材料的研究
生物智能材料一直是材料领域的热门方向,尤其是在医学领域的应用,其点滴的创新都能对科技发展起到推动作用。但由于其选材覆盖面广泛、结构尺寸微小,所以对扫描电镜的综合观测能力具有较高的要求。
电镜Phenom ProX具有150,000的放大倍数、8nm的分辨率,轻松观测纳米尺度,如液态金属纳米球;
· 采用背散射、二次电子双探头,扫描电镜分析哪家好,轻松获取原子序数和表面形貌衬度图像,为客户提供更多的样品信息;
· 能谱分辨率达 123eV,分析样品中元素的分布和含量;
· 电镜具有的真空设计,即使面对导电性较差的样品,也可直接观测,无需喷金,如图所示未喷金的聚(PS)小球,基本没有出现荷电现象;
· 电镜操作十分简便、,经过一日的系统培训即可独立操作,数分钟即可完成一个样品的观测,大大提升了测试效率。
描电镜和透射电镜对样品的要求
1、扫描电镜
扫描电镜制样对样品的厚度没有特殊要求,可以采用切、磨、抛光或解理等方法将特定剖面呈现出来,从而转化为可以观察的表面。这样的表面如果直接观察,看到的只有表面加工损伤,一般要利用不同的化学溶液进行择优腐蚀,才能产生有利于观察的衬度。不过腐蚀会使样品失去原结构的部分真实情况,同时引入部分人为的干扰,对样品中厚度的薄层来说,造成的误差更大。
2、透射电镜
由于透射电镜得到的显微图像的质量强烈依赖于样品的厚度,因此样品观测部位要非常的薄,例如存储器器件的透射电镜样品一般只能有10~100nm的厚度,这给透射电镜制样带来很大的难度。初学者在制样过程中用手工或者机械控制磨制的成品率不高,一旦过度削磨则使该样品报废。透射电镜制样的另一个问题是观测点的定位,一般的制样只能获得10mm量级的薄的观测范围,这在需要分析的时候,目标往往落在观测范围之外。目前比较理想的解决方法是通过聚焦离子束刻蚀(FIB)来进行精细加工。