企业等级: | 普通会员 |
经营模式: | 生产加工 |
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扫描电子显微镜的工作原理
从电子阴极发出的直径20μm~30μm的电子束,受到阴阳极之间加速电压的作用,射向镜筒,经过聚光镜以及物镜的会聚作用,缩小成直径约几毫微米的电子探针。在物镜上部的扫描线圈的作用下,电子探针在样品表面作光栅状扫描而且激发出多种电子信号。这些电子信号被相应的检测器检测,通过放大、转换,变成电压信号,之后被送到显像管的栅极上并且调制显像管的亮度。显像管中的电子束在荧光屏上也作光栅状扫描,并且这种扫描运动与样品表面的电子束的扫描运动严格同步,这样即获得衬度与所接收信号强度相对应的扫描电子像,这种图象反映了样品表面的形貌特征。第二节扫描电镜生物样品制备技术大多数生物样品都含有水分,而且比较柔软,所以,扫描电镜测试费用,当我们在进行扫描电镜观察之前,一定要对样品作相应的处理。扫描电镜样品制备的主要步骤:尽可能让样品的表面结构储存好,没有变形还有污染,样品干燥并且有优良导电性能。
描电镜和透射电镜对样品的要求
1、扫描电镜
扫描电镜制样对样品的厚度没有特殊要求,可以采用切、磨、抛光或解理等方法将特定剖面呈现出来,从而转化为可以观察的表面。这样的表面如果直接观察,看到的只有表面加工损伤,一般要利用不同的化学溶液进行择优腐蚀,才能产生有利于观察的衬度。不过腐蚀会使样品失去原结构的部分真实情况,同时引入部分人为的干扰,对样品中厚度的薄层来说,造成的误差更大。
2、透射电镜
由于透射电镜得到的显微图像的质量强烈依赖于样品的厚度,扫描电镜测试机构,因此样品观测部位要非常的薄,例如存储器器件的透射电镜样品一般只能有10~100nm的厚度,这给透射电镜制样带来很大的难度。初学者在制样过程中用手工或者机械控制磨制的成品率不高,扫描电镜测试中心,一旦过度削磨则使该样品报废。透射电镜制样的另一个问题是观测点的定位,一般的制样只能获得10mm量级的薄的观测范围,莱芜扫描电镜测试,这在需要分析的时候,目标往往落在观测范围之外。目前比较理想的解决方法是通过聚焦离子束刻蚀(FIB)来进行精细加工。
扫描电镜的特点
1.束流稳定,可与电子探针媲
扫描电镜配有自动法拉第笼。它安装在扫描电镜的镜筒内,由气动控制其进出,用以直接测量电子束流。镜筒内还含有闭环反馈控制系统,以便对电子束流进行控制。其电子束流的稳定度优于0.2%/h,已达到电子探针的水平。此外,束流稳定,非常有利于能谱分析,特别是波谱仪的分析工作(如果将来购买的话)。
2.扫描电镜:-----五种观察模式的电子光学系统
扫描电镜采用***的电子光学系统,在电子束对中、消像散、调焦等方面均处于业内地位。扫描电镜的每个镜筒均独立供电所以可提供五种观察模式:分辨率模式、大景深模式、广角模式、分析模式,鱼眼模式。