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全自动扫描电子显微镜是生产工艺中的关键设备

全自动扫描电子显微镜是一款全自动、无损显微分析系统，投射电镜分析机构，可针对几乎所有无机材料和部分有机材料，迅速提供在统计学上可靠且可重复的矿物学、岩相学和冶金学数据，在业，全自动扫描电子显微镜可用于矿产勘查、矿石表征和选矿工艺优化。在石油和行业，对钻井岩屑和岩心试样进行显微分析，从而降低风险并提高采收率。在煤炭行业，投射电镜分析哪家好，利用该系统自动分析煤、煤粉和煤燃烧产物，中山投射电镜分析，可以更好地了解煤燃烧和废物利用情况。

由于高能电子与物质的相互作用，结果在试样上产生各种信息如二次电子、背反射电子、俄歇电子、X射线、阴发光、吸收电子和透射电子等。因为从试样中所得到各种信息的强度和分布各自同试样表面形貌、成分、晶体取向、以及表面状态的一些物理性质（如电性质、磁性质等）等因素有关，因此，通过接收和处理这些信息，就可以获得表征试样形貌的扫描电子像，或进行晶体学分析或成分分析。

在全自动扫描电子显微镜应用中，很多集中在半导体器件和集成电路方面，它可以很详细地检查器件工作时局部表面电压变化的实际情况，这是因为这种变化会带来象的反差的变化，焊接开裂和腐蚀表面的细节或相互关系可以很容易地观察到。

扫描电子显微镜的结构：

　扫描电子显微镜是由三大部分组合而成的：真空系统，电子束系统还有成像系统。

　1.真空系统，主要包含真空泵以及真空柱这两部分。真空柱是一个密封的柱形容器，真空泵则用来在真空柱内产生真空。

　2.电子束系统，电子束系统主要是由电子以及电磁透镜这两部分组合而成，主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成像。电子用于产生电子，主要有利用场致发射效应产生电子还有利用热发射效应产生电子两种。

　3.成像系统，电子通过一系列电磁透镜成束之后，打到样品上和样品相互作用，会产生次级电子、背散射电子、欧革电子还有X射线等一系列信号。因此需要不同的探测器比方说次级电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号为了获得所需要的信息。

扫描电镜之电子探针显微分析

显微结构分析

电子探针是利用0.5μm－1μm的高能电子束激发所分析的试样，通过电子与试样的相互作用产生的特征X 射线、二次电子、吸收电子、 背散射电子及阴极荧光等信息来分析试样的微区内(μm范围内)成份、形貌和化学结合状态等特征。电子探针成分分析的空间分辨率（微区成分分析所能分析的区域）是几个立方μm范围， 微区分析是它的一个重要特点之一， 它能将微区化学成份与显微结构对应起来，是一种显微结构的分析。而一般化学分析、 荧光分析及光谱分析等，投射电镜分析中心，是分析试样较大范围内的平均化学组成，也无法与显微结构相对应， 不能对材料显微结构与材料性能关系进行研究。